Semiconductor

In de film hieronder: Lighthouse Monitoring in ASML EUV Cleanroom

Cleanroom Monitoring voor Productie ruimten en Productie processen

Cleanroom monitoring, certificering en testen is een belangrijk onderdeel voor elke cleanroom faciliteit. De Lighthouse Monitoring systemen (LMS Professional) zijn ontworpen voor "Contamination Control" wat betekent dat onze meetsystemen in staat zijn om allerlei Cleanroom "vervuilingen" of "verstoringen" te meten. In Semiconductor cleanroom omgevingen worden de volgende parameters vaak opgenomen in een realtime monitoring systeem:

  • Lucht deeltjestelling: voor Cleanroom stof-classificatie metingen volgens ISO14644
  • Vloeistof deeltjestelling: voor reinheidsbepaling van UPW installaties, leidingen, reinigingsbaden en bedrijfsstoffen
  • Deeltjestelling in processgassen: voor reinheidsbepaling van leidingen en P.O.U.
  • Oppervlakte deeltjestellers: voor oppervlakte reinheid en sedimentatie
  • Temperatuur: voor Cleanroom ruimten en bedrijfsstoffen
  • Relatieve Vochtigheid: voor Cleanroom productie ruimten
  • Drukverschil: voor Cleanroom productie ruimten
  • Airborne Moleculair Contamination: voor Cleanroom omgevingen (bv. zuren, ammonia, amines, "dopans" en oplosmiddelen)
  • Trillingen: Voor Lithograpy opstellingen
  • Lichtsterkte: voor Cleanroom productie ruimten
  • EMC: Voor veldsterkte metingen in processruimten
  • ESD: Ontladingsmetingen in productie ruimten

Belangrijkste Specificaties LMS Professional:

Sensoringangen:
Het LMS monitoring systeem is geschikt voor het uitlezen van verschillende analoge en digitale sensoren zoals temperatuur, relatieve vochtigheid, drukverschil, luchtsnelheid, deeltjestelling, geleidbaarheid, TOC, CO2, N2, enz.

Gebruiksvriendelijkheid:
Presentatie van de meetwaarden wordt verzorgd door een duidelijke grafische interface. Deze Client netwerk applicatie verschaft diverse gebruikers, zoals operators, managers, quality control, de mogelijkheid voor het beheren en rapporteren van de meetwaarden. Na een gebruikerstraining vindt elke gebruiker moeiteloos zijn weg in LMS systeem.

Stabiliteit:
Het LMS pakket is ontworpen voor continuïteit van dataverzorging. Het systeem beschikt over een monitoring-engine welke altijd actief is. Gebruikmakend van een "fail over" (buddy) systeem wordt volledige redundantie bereikt. Lighthouse garandeert met een redundante opstelling 99,9% uptime. De interne controller kan worden voorzien van een Noodstroom voorziening. (UPS)

Database:
De object georiënteerde database van LMS Professional is een eigen SCADA database. Database verbindingen via standaard methoden als ODBC, OleDB, .NET en XML kunnen eenvoudig communiceren met de meeste commerciële databases als MS SQL, Oracle en MS Access.

Audit Trails:
Diverse rapportage kan worden verzorgd zoals alarmering en bevestigingen, gebeurtenissen, in-uitlog gegevens en gebruikers ingave.

Alarmering:
Zeer uigebreide alarmerings mogelijkheden via email, SMS of TCP/IP.

Rapportage:
Handmatige en automatische rapportage mogelijkheden, met PDF export functies.

Validatie:
De LMS systemen kunnen door Lighthouse Turn-key, inclusief validatie (IQ/OQ) worden opgeleverd.